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Seite: Fachinfo / Grundlagen / ESCA

Röntgenphotoelektronenspektroskopie - ESCA

 

Durch den Beschuß mit monochromatischer Röntgenstrahlung werden aus der Probenoberfläche Photoelektronen emittiert.

Die Energie des Elektrons ist charakteristisch für das Oberflächenatom und dessen chemischen Bindungszustand.

Die Ortsauflösung (laterale Auflösung) beträgt 5 µm, die Tiefenauflösung 2-5 Atomlagen (ca. 1-4 µm).

Prinzip der Anregung mit monochromatischen Röntgenstrahlen

Anwendungsbeispiel:

Ein kornorientiertes Elektroblech, welches als Hauptlegierungselement Silizium (ca. 3,2 %) enthält, wurde vor der Hochglühung mit Al2O3 beschichtet. Die Proben sind jedoch extrem spröde geworden.

Da der Korndurchmesser im cm-Bereich liegt, können die Körner von Hand herausgebrochen und auf einem Probenträger fixiert werden.

Ergebnis:

 An den Korngrenzen des Elektroblechs konnten Anreicherungen der Elemente Si, N und C gefunden werden.

Durch die Änderung der Bindungsenergie der Photoelektronen konnten diese als SiC und SiN nachgewiesen werden.

Diese Anreicherung führt zu einer Versprödung des Materials.

 

 

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